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　　【演讲摘要】跟着集成电制程的不竭微缩，对芯片良率提拔带来了挑和，量检测手艺是芯片良率的环节，响应地对量检测手艺提出了更高的要求。纳米丈量手艺包罗AFM、SEM、SNOM等颠末了持久的成长曾经正在生物医学、航空航天、半导体等范畴获得了普遍使用，该演讲将引见纳米丈量手艺正在半导体使用过程中存正在的问题及可能的处理路子。

　　【演讲摘要】封拆做为集成电制制过程中的环节环节之一，封拆质量间接影响芯片良率，对芯片封拆缺陷的检测对于芯片良率具有主要的感化和意义。本演讲针对芯片封拆缺陷检测的典型手艺及其使用进行了引见，沉点针对先辈封拆凸点高度分歧性检测环节手艺和正在线检测配备进行细致引见，并对其正在产线的使用进行了阐述。

　　【小我简介】霍树春，博士/博士后，硕士生导师，处置IC及泛半导体范畴微纳米布局的光学丈量理论取手艺研究，先后承担10余项国度级、省部级科研项目取课题，全国微机电手艺尺度化手艺委员会（SAC/TC336）委员、中国计量测试学会计量仪器专业委员会、中国光学学会光电专委会委员、原子级制制论坛青年工做委员会委员等，正在相关范畴颁发SCI论文20余篇、授权专利16项、参编专著1部，掌管/参取草拟国度尺度8项、集体尺度2项。

　　杨树明，西安交通大学二级传授，博士生导师，国度精采青年基金获得者、国务院学位委员会学科评断组、国度沉点研发打算首席科学家、教育部新世纪优良人才、陕西省沉点科技立异团队带头人等。承担国度及省部级严沉沉点项目20余项，颁发学术论文300多篇，出书专著3部和论文集5部，授权/公建国际国内发现专利100余件，立项国度尺度2项，获得科技励10余项、讲授3项。被遴选为国际纳米制制学会（ISNM）会士、亚洲细密工程取纳米手艺学会（ASPEN）理事；担任中国计量测试学会常务理事、中国微米纳米手艺学会微纳米丈量取仪器分会副理事长、微纳光器件取系统分会副理事长、中国仪器仪表学会合成电丈量取仪器分会副从任委员、中国计量测试学会几何量专业委员会副从任委员、中国机械工程学会微纳制制手艺分会副从任委员等；担任JMS、IJPEM-GT、IJRAT、NMME、PE等国际期刊编委。正在学术会议应邀做宗旨演讲、大会演讲和特邀演讲100余次。

　　【小我简介】张滋黎，中国科学院微电子研究所研究员，博士生导师，中国科学院大学岗亭教师，中国计量测试学会几何量专业委员会委员，中国计量测试学会正在线检测手艺取智能制制专业委员会委员。2010年结业于，获测试计量手艺及仪器专业工学博士学位，次要处置细密仪器设想、集成电缺陷检测、计较机视觉、图像处置、误差弥补等方面的研究。先后公开辟表论文52篇，申请专利45项（授权专利26项），登记软件著做权9项。做为项目担任人掌管了国度沉点研发打算项目、国度天然科学基金项目，并参取了多项严沉工程项目、国度天然基金、科技部严沉专项、国度沉点研发打算、中科院院配备等项目标研究。先后获得机械工业科学手艺手艺发现类特等，机械工业科学手艺科技前进一等和中国仪器仪表学会科技前进一等。

　　【演讲摘要】深硅刻蚀微布局深度的高精度无损丈量是保障IC先辈封拆取MEMS制制良率的环节。然而，微布局几何参数复杂多样，且单一的光学方式合用范畴较窄。实现了线的微布局深度丈量，为我国高端半导体系体例制配备的自从化成长供给了靠得住的国产化手艺方案。

　　【演讲摘要】定量相位成像手艺(Quantitative Phase Imaging， QPI)，能够间接操纵待测物衍射强度图，通过数值计较沉建相位消息。将沉点引见调制叠层衍射成像(modulation Ptychographic Iterative Engine， mPIE)丈量方式，实现强散射光学元件描摹以及低频分布光学元件波前丈量。该方式通过二维扫描体例采集待测物颠末调制的衍射强度图，操纵夹杂迭代算法无效削减图像采集数量同时提拔算法性，并通过相关算法和从动聚焦算法对误差以及距离误差进行批改。实现了了二元随机相位板、球面透镜和平面光学元件的丈量。